4點探針量測半導體電阻率和電導率

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電阻率和電導率是半導體的基本特性並且是產品開發和晶圓製造的關鍵參數。例如，在材料製造過程中改變摻雜比例可調整電阻率。同時，確定晶圓材料的導電類型(或多數載子是電子還是電洞)是研發和製造中的常見量測。這兩種參數的量測需要採用四點直線探針和適當的儀器。此應用文說明如何進行高靈敏度和高準確度地量測電阻率和電導特性。更多內容

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霍爾電壓和范德堡電阻率量測

半導體材料研究和元件測試通常需要量測樣品的電阻率和霍爾遷移率。半導體材料的電阻率主要取決於本體摻雜，並且會影響元件的電容、串聯電阻和 臨界電壓。電阻率通常使用四點范德堡方法量測，由於量測接觸點間的幾何距離不重要，所以能採用小尺寸樣本。霍爾電壓量測非常重要，因為由霍爾電壓能導出載子濃度和遷移率及其它參數。通過施加磁場，使用類似電阻率的測試配置就能量測霍爾電壓。了解如何進行小訊號量測。更多內容

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晶圓上探針測試的提示、技巧和陷阱

本期研討會介紹在晶圓上探測過程中典型半導體量測的最佳方式以及如何解決常見的量測問題。推薦具有晶圓探測基礎的測試工程師和測試經理觀看。本內容也適合於從事晶圓上元件製造的產品工程師。

研討會的參加者將了解以下內容:

	進行準確直流低電流量測的接線方法
	進行準確CV量測的接線方法
	實現超快速和脈衝IV量測的接線方法
	選擇適當的連接電纜線
	正確接地和防漏電技術
	如何排除接線問題
	採用吉時利提供的測試線和配件實現直流、超快速CV和脈衝IV量測的優點

立即觀看本期錄製研討會

回顧電性量測基本原理

準確量測幾乎是科學和工程學科核心重點。然而，即使已具有全面量測基礎的人員也可能忽略實現應用目標所需的高品質量測的某些細節。在確認量測準確度、公差、速度等規格時，不僅要了解量測儀器的性能，還要考量因接線、連接器、測試治具、甚至測試環境所影響的各方面限制。材料或被測元件的特性也對量測品質產生極大影響。該白皮書描述四步程序能提高成功建構一個符合要求的測試系統的可能性，並避免各種不愉快經驗和昂貴代價。更多內容

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